化學機械研磨(CMP)污泥回收技術方案
技術原理 CMP污泥主要成分為二氧化矽和三氧化二鋁,有些會含有少量的銅,本技術是將污泥經過乾燥、焙燒、浸漬、水洗及萃取等處理程序後,生產出晶瓷粉(礦石粉)及硫酸銅水溶液。
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化學機械研磨(CMP)污泥回收技術方案
技術原理 CMP污泥主要成分為二氧化矽和三氧化二鋁,有些會含有少量的銅,本技術是將污泥經過乾燥、焙燒、浸漬、水洗及萃取等處理程序後,生產出晶瓷粉(礦石粉)及硫酸銅水溶液。
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